中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的資料顯示，2004年中國半導(dǎo)體設(shè)備（不含外資在華組裝企業(yè)）銷售額為4.23億元人民幣。SEMI China對2004年中國半導(dǎo)體設(shè)備采購額的統(tǒng)計是約224億元人民幣。4.23億元的銷售額、大約1/50的自供能力，使得我們目前對中國半導(dǎo)體設(shè)備還很難用“產(chǎn)業(yè)”來稱呼。
　　但中國半導(dǎo)體設(shè)備這個“星火”比2003年增長了67%，2005年更是看到了產(chǎn)業(yè)化的希望。據(jù)中科院微電子所副所長兼EDA中心主任葉甜春，在近日由浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會主辦的“長三角半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會聯(lián)誼會”上介紹，北京北方微電子基地公司研制的100nm刻蝕機、北京中科信公司研制的注入機已在SMIC天津廠進行工藝核驗，上海微電子裝備公司100nm光刻機今年底開始整機組裝、2006年完成樣機調(diào)試。
　　盡管國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)研發(fā)已有局部突破，在快速熱處理設(shè)備、塑封機、單晶爐、拋光機等部分產(chǎn)品上已用于國內(nèi)部分6英寸生產(chǎn)線中，但主流大規(guī)模生產(chǎn)線基本上被國際半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商壟斷也是個長期存在的事實。
　　2005年4月，在位于金橋出口加工區(qū)的上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)基地和上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展中心揭牌儀式上，上海市經(jīng)委副主任王堅表示：“到2010年，上海將爭取成為世界級的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地，引領(lǐng)我國成為繼美國、日本后的世界第三大半導(dǎo)體裝備制造大國。”據(jù)上海集成電路行業(yè)協(xié)會副秘書長薛自介紹，上海市政府已出資3000萬元啟動上海半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)基地的建設(shè)，但目前要想進入國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線仍然是件困難的事。
　　“一代裝備、一代工藝、一代產(chǎn)品”，這是半導(dǎo)體制造業(yè)的定律。但動輒2000萬美元的光刻機、800萬美元的PVD、500萬美元的刻蝕機等關(guān)鍵設(shè)備，已使12英寸建線資金上升到20～30億美元。據(jù)TEL中國總裁陳捷介紹，2004年國際市場300mm設(shè)備已超200mm，2005年300mm設(shè)備將會有70～80%增長。陳捷認為，半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商要有提供高性能、低成本的新設(shè)備能力才有業(yè)務(wù)增長的可能。葉甜春也表示，低成本解決方案是全球半導(dǎo)體制造業(yè)的出路所在。
　　以低價將國產(chǎn)設(shè)備切入到生產(chǎn)線中，似乎為中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者帶來一線希望。中科院微電子所研究員王守國表示，“如果說要花1500萬美元買臺進口設(shè)備的話，那我們能賣到150萬美元就相當滿意了。”但在目前的中國市場中，低價并不是中國本土公司特有的，TEL目前已在中國通過設(shè)備的用材及保修期方面采取靈活策略提供高性能、低成本的新設(shè)備，以期吸引中國的二手設(shè)備用戶。
　　但晶圓制造商們在采購設(shè)備時，價格高低似乎并不是唯一考慮因素。陳捷表示，設(shè)備供應(yīng)商正在承擔(dān)更多的技術(shù)研發(fā)任務(wù)，以適應(yīng)更多的下游用戶要求上游廠家提供更廣泛的服務(wù)，目前晶圓制造工藝技術(shù)很多都需設(shè)備供應(yīng)商提供。這就是問題的所在：中國制造商持續(xù)的新設(shè)備開發(fā)能力及相適應(yīng)的配套服務(wù)能力，目前還無法讓其下游廠家放心。
　　不過在此點上，中國設(shè)備廠商與二手設(shè)備提供商面臨著同樣的宿命。盡管二手設(shè)備有著先期生產(chǎn)線成功運行案例，只要具有經(jīng)驗豐富的Fab人才，也會將舊設(shè)備的維修費用降下來，但二手設(shè)備對技術(shù)工藝選擇窗口畢竟太小，后續(xù)升級設(shè)備也得不到保證。而用戶最擔(dān)心的供應(yīng)商倒閉風(fēng)險，二手設(shè)備提供商甚至比中國本土設(shè)備廠商更大。在此前提下，中國本土設(shè)備廠商的低價策略就有了誘惑力。如果以國際領(lǐng)先供應(yīng)商1/10的價格來界定中國本土供應(yīng)商的售價，那么中國目前充滿活力的二手設(shè)備市場，可能離門庭羅雀不遠了。
　　在蠶食二手設(shè)備市場的同時，積極尋求成為國際大廠配套服務(wù)商伺機進入主流市場，也應(yīng)是中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者的一個選項。陳捷表示，其實進入主流市場并不是技術(shù)問題，TEL目前在中國有15～20%銷售收入來自服務(wù)，因為培育客戶很重要。而從日本半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展歷程來看，正是當初甘為美國廠商做配套服務(wù)的定位起到了相當關(guān)鍵的作用。
　　美國、日本半導(dǎo)體制造設(shè)備業(yè)，因為有了巨大的本地市場需求支撐，所以很強大。韓國、臺灣，沒有足夠的本地市場依靠，所以難成氣候。中國大陸，已有潛力龐大的本地市場可依托，所以現(xiàn)在的“星火”就有了“燎原”的可能，盡管目前燎原之勢還不清晰可見。