我國(guó)首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅電容傳感器日前在沈陽(yáng)問(wèn)世。11月29日，中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)傳感器分會(huì)聯(lián)合舉辦了硅電容、硅壓阻復(fù)合傳感器推研會(huì)。專家認(rèn)為，這兩種產(chǎn)品達(dá)到了當(dāng)今國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，將改變我國(guó)企業(yè)一直靠進(jìn)口硅電容傳感器的歷史。 
　　傳感器是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域很重要的部件，目前，我國(guó)高性能傳感器基本依賴進(jìn)口，嚴(yán)重阻礙了相關(guān)變送器產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，牽制和影響了民族產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在國(guó)家“863”計(jì)劃、國(guó)家中小企業(yè)創(chuàng)新基金、科技部新產(chǎn)品專項(xiàng)基金的支持下，沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院研制成功硅電容、硅壓阻復(fù)合傳感器。該院是傳感器國(guó)家工程研究中心的依托單位，傳感器生產(chǎn)的工藝條件、設(shè)備條件在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位?？蒲腥藛T通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，突破了影響傳感器性能的多項(xiàng)工藝難點(diǎn)和關(guān)鍵技術(shù)，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補(bǔ)償效應(yīng)，核心元件采用微機(jī)械加工技術(shù)，溫度范圍寬，精度高，穩(wěn)定性好，成功實(shí)現(xiàn)了新型高性能傳感器的自主開(kāi)發(fā)和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復(fù)合傳感器，是能同時(shí)感受兩種或兩種以上不同被測(cè)量參數(shù)并轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)輸出的傳感器，滿足了工業(yè)智能儀表用傳感器的需求。這兩種產(chǎn)品的問(wèn)世并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，提升了我國(guó)壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業(yè)與國(guó)外產(chǎn)品差距，填補(bǔ)了我國(guó)自主生產(chǎn)智能儀表的空白。