半導(dǎo)體設(shè)備及材料產(chǎn)業(yè)被稱為半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，每一次設(shè)備的推陳，每一次材料的出新，都深刻影響著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。另一方面，半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展也必將帶動設(shè)備業(yè)的投資。2000年，中國IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，使中國市場成為各大設(shè)備廠商尋夢的地方。而2005年，有關(guān)資料顯示，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資額相比2004年下降了近50%，高昂的設(shè)備采購成本以及對半導(dǎo)體制造業(yè)的投資更加謹(jǐn)慎，都不同程度地影響著設(shè)備業(yè)的發(fā)展。

　　中國市場為“支撐”添力

　　不可否認(rèn)，中芯國際對整個產(chǎn)業(yè)的帶動作用已經(jīng)沒有前幾年明顯，但中國市場并不是沒有機(jī)會。今年1月19日，阜康同創(chuàng)(北京)微電子公司8英寸芯片項目啟動簽約儀式舉行，阜康同創(chuàng)8英寸芯片項目正式落戶北京林河工業(yè)開發(fā)區(qū)。在顯示領(lǐng)域，特別是TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也不容忽視。京東方、上廣電、深天馬等TFT-LCD生產(chǎn)線的投資建設(shè)，也將為半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用提供更廣闊的市場空間。

　　未來5年，我國集成電路市場將進(jìn)一步擴(kuò)大，年均增長速度預(yù)計將保持在20%左右，預(yù)計2010年市場需求額有可能達(dá)到9000億元。預(yù)計2005年到2010年，我國半導(dǎo)體分立器件產(chǎn)業(yè)與市場需求將分別保持年均約15%和8%的增長速度。到2010年我國半導(dǎo)體分立器件的產(chǎn)量將達(dá)到2200億只，銷售額達(dá)到1150億元。信息產(chǎn)業(yè)部電子信息產(chǎn)品管理司基礎(chǔ)產(chǎn)品處處長王勃華強(qiáng)調(diào)，隨著12英寸生產(chǎn)線陸續(xù)投入運行，半導(dǎo)體制造設(shè)備市場將繼續(xù)擴(kuò)大，集成電路和半導(dǎo)體分立器件市場的需求必然會帶來產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展并進(jìn)而形成各種半導(dǎo)體設(shè)備的廣闊市場。

　　近年來，國內(nèi)建起了多條太陽能電池模塊的封裝線，使太陽能電池的年生產(chǎn)量迅速增加，王勃華介紹，我國硅太陽能電池的生產(chǎn)能力已從3年前的十幾兆瓦迅速發(fā)展到目前的超過100兆瓦。面對我國太陽能電池產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展以及太陽能電池用多晶硅產(chǎn)能的缺口，預(yù)計適于太陽能電池制造用和太陽能電池用多晶硅材料生產(chǎn)用的半導(dǎo)體設(shè)備市場需求也將保持高速增長。

　　國外廠商收獲忙

　　中國半導(dǎo)體市場良好的發(fā)展態(tài)勢，對全球半導(dǎo)體業(yè)有著重要的作用和貢獻(xiàn)，國外半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)廠商忙著在中國市場布局也就不足為奇了。有關(guān)市場調(diào)研公司的分析報告顯示，2004年中國市場半導(dǎo)體制造設(shè)備采購額大增了146%。

　　近年來，中國半導(dǎo)體市場對高端設(shè)備和先進(jìn)技術(shù)的需求逐漸增長，這一特點在2004年表現(xiàn)得尤為突出。作為東京精密(Accretech)本地化公司，東精精密設(shè)備(上海)有限公司副總經(jīng)理周雅萍認(rèn)為，國際上知名的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠陸續(xù)在中國建立生產(chǎn)基地，加速了中國半導(dǎo)體生產(chǎn)制作技術(shù)的提升，中國客戶對半導(dǎo)體設(shè)備的需求也發(fā)生了很大變化。周雅萍說：“在幾年前，客戶要求價格便宜工藝簡單的設(shè)備，通?？蛻舾信d趣的設(shè)備為東京精密生產(chǎn)的低端產(chǎn)品。隨著中國客戶半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝水平的提升，中國客戶對先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備需求不斷增加?！?

　　對于先進(jìn)技術(shù)，中國市場與歐美市場的需求是相同的。對此諾發(fā)(Novellus)公司亞太區(qū)運營高級副總裁Chen Fusen認(rèn)為，為了迎接IC制造方面的挑戰(zhàn)，設(shè)備制造商需要擴(kuò)展其現(xiàn)有設(shè)備的生產(chǎn)能力和設(shè)備的使用壽命，假如沒有出眾的技術(shù)，要在一兩個制造節(jié)點的平臺可延伸性方面領(lǐng)先通常是不可能的。他說：“在美國和歐洲那些成熟的市場的確是這樣，在中國這樣新出現(xiàn)的市場也不例外。”在去年年初，Novellus把第一臺SABRE 300mm銅電鍍設(shè)備裝運到一家領(lǐng)先的中國代工廠。

　　對于今后的市場，各大廠商雖然各執(zhí)一詞，但無論如何，中國市場仍將是這些國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要戰(zhàn)略市場。

　　加快本地化進(jìn)程

　　2006年，全球半導(dǎo)體工業(yè)將開始進(jìn)入65nm器件量產(chǎn)，而設(shè)備廠商也將進(jìn)入到45nm及以下設(shè)備的研發(fā)，由于研發(fā)投入加大，設(shè)備廠商風(fēng)險增加，另一方面，芯片制造等設(shè)備采購商，要求設(shè)備降價的壓力也越來越大。

　　近年來，設(shè)備的價格越來越高，雖然2005年后稍有些回落，但業(yè)界普遍反映仍不能承受。半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域資深人士莫大康介紹，一套先進(jìn)的光刻機(jī)加上涂膠顯影軌道設(shè)備，至少要2000萬美元，如果要做關(guān)鍵的光刻層，采用濕法，大數(shù)值孔徑的193nm光刻機(jī)，那價格還要至少高出500萬美元至1000萬美元。分析原因，莫大康認(rèn)為，現(xiàn)在的設(shè)備不但硬件要先進(jìn)復(fù)雜，更主要的是購買設(shè)備后能保證實現(xiàn)一定的工藝技術(shù)，為此設(shè)備廠商要開展先進(jìn)工藝技術(shù)的研發(fā)，花費是十分巨大的。天下沒有免費的午餐，龐大的研發(fā)費用都會分?jǐn)傇诿颗_設(shè)備的售價之中，因此設(shè)備賣的越多，其分?jǐn)偟难邪l(fā)費用越薄，只有當(dāng)研發(fā)費用分?jǐn)們艉螅O(shè)備價格才可能降下來，所以設(shè)備的銷售數(shù)量是關(guān)鍵。然而進(jìn)入12英寸、65nm后能夠支付得起的客戶，購買設(shè)備的數(shù)量十分有限，所以設(shè)備價格可能下降的空間并不大。

　　作為設(shè)備廠商，也面臨兩難的局面，如果不跟隨摩爾定律，則意味著馬上出局，但是真要緊跟上去，龐大的研發(fā)費用又支付不起，并且很難得到應(yīng)有的回報。

　　面對現(xiàn)實的困難局面，作為設(shè)備廠商在近時期能做到的是努力設(shè)法降低設(shè)備的制造成本，子系統(tǒng)及零部件的本地化采購將有助于降低設(shè)備生產(chǎn)成本。在中國發(fā)展設(shè)備配套部件產(chǎn)業(yè)，在完善中國半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈的同時，也將有助于國際設(shè)備供應(yīng)商整體競爭力的提高。

　　編輯點評

　　應(yīng)給予國產(chǎn)設(shè)備更多關(guān)注

　　經(jīng)過多年的發(fā)展，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)已經(jīng)取得了很不錯的成績：在半導(dǎo)體前道工序用擴(kuò)散爐、快速熱處理設(shè)備。清洗機(jī)、勻膠顯影設(shè)備等；后道工序中的劃片機(jī)、塑封機(jī)、部分模具等；材料制備設(shè)備中的單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)，部分凈化設(shè)備和試驗設(shè)備，其中一些國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)日漸成熟，并且已經(jīng)有設(shè)備被用到國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線中。

　　盡管如此，國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入國內(nèi)大生產(chǎn)線仍然很難，因為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展太快，設(shè)備還沒用舊，產(chǎn)品就更新?lián)Q代了，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)跟不上市場變換的節(jié)奏，因此集成電路生產(chǎn)線幾乎被國外廠商的產(chǎn)品壟斷。因此，國產(chǎn)設(shè)備要想得到發(fā)展必須要到大生產(chǎn)線上“驗明正身”，為此，業(yè)內(nèi)不少人士呼吁，國內(nèi)的集成電路大生產(chǎn)線要用國內(nèi)的設(shè)備，給國內(nèi)設(shè)備企業(yè)一些機(jī)會。當(dāng)然，前提是要加強(qiáng)國內(nèi)各設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的開發(fā)能力，不斷開發(fā)新工藝設(shè)備，以滿足生產(chǎn)線的需要。

　　除了進(jìn)入大生產(chǎn)線，國產(chǎn)設(shè)備業(yè)的發(fā)展還要多方扶持，尤其是國家應(yīng)該在政策、資金、關(guān)稅等方面對國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)有所傾斜：系統(tǒng)研究振興我國半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)的有關(guān)政策；鼓勵國內(nèi)裝備制造企業(yè)、專用裝備用戶企業(yè)和資金進(jìn)入半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)；在稅收上應(yīng)給予和國外進(jìn)口設(shè)備同樣的條件。