半導(dǎo)體設(shè)備材料擴(kuò)容 配套部件業(yè)待完善 設(shè)備及材料產(chǎn)業(yè)被稱為半導(dǎo)的支撐產(chǎn)業(yè)，每一次設(shè)備的推陳，每一次材料的出新，都深刻影響著半導(dǎo)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。另一方面，半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展也必將帶動(dòng)設(shè)備業(yè)的投資。2000年，中國(guó)IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，使中國(guó)市場(chǎng)成為各大設(shè)備廠商尋夢(mèng)的地方。而2005年，有關(guān)資料顯示，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資額相比2004年下降了近50%，高昂的設(shè)備采購(gòu)成本以及對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)的投資更加謹(jǐn)慎，不同程度地影響著設(shè)備業(yè)的發(fā)展。 中國(guó)市場(chǎng)為“支撐”添力 不可否認(rèn)，中芯國(guó)際對(duì)整個(gè)產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用已經(jīng)沒有前幾年明顯，但中國(guó)市場(chǎng)并不是沒有機(jī)會(huì)。今年1月19日，阜康同創(chuàng)(北京)微電子公司8英寸芯片項(xiàng)目啟動(dòng)簽約儀式舉行，阜康同創(chuàng)8英寸芯片項(xiàng)目正式落戶北京林河工業(yè)開發(fā)區(qū)。在顯示領(lǐng)域，特別是TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也不容忽視。京東方、上廣電、深天馬等TFT-LCD生產(chǎn)線的投資建設(shè)，也將為半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用提供更廣闊的市場(chǎng)空間。 未來5年，我國(guó)集成電路市場(chǎng)將進(jìn)一步擴(kuò)大，年均增長(zhǎng)速度預(yù)計(jì)將保持在20%左右，預(yù)計(jì)2010年市場(chǎng)需求額有可能達(dá)到9000億元。預(yù)計(jì)2005年到2010年，我國(guó)半導(dǎo)體分立器件產(chǎn)業(yè)與市場(chǎng)需求將分別保持年均約15%和8%的增長(zhǎng)速度。到2010年我國(guó)半導(dǎo)體分立器件的產(chǎn)量將達(dá)到2200億只，銷售額達(dá)到1150億元。信息產(chǎn)業(yè)部電子信息產(chǎn)品管理司基礎(chǔ)產(chǎn)品處處長(zhǎng)王勃華強(qiáng)調(diào)，隨著12英寸生產(chǎn)線陸續(xù)投入運(yùn)行，< target=_blank>半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(chǎng)將繼續(xù)擴(kuò)大，集成電路和半導(dǎo)體分立器件市場(chǎng)的需求必然會(huì)帶來產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展并進(jìn)而形成各種半導(dǎo)體設(shè)備的廣闊市場(chǎng)。 近年來，國(guó)內(nèi)建起了多條太陽能電池模塊的封裝線，使太陽能電池的年生產(chǎn)量迅速增加，王勃華介紹，我國(guó)硅太陽能電池的生產(chǎn)能力已從3年前的十幾兆瓦迅速發(fā)展到目前的超過100兆瓦。面對(duì)我國(guó)太陽能電池產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展以及太陽能電池用多晶硅產(chǎn)能的缺口，預(yù)計(jì)適于太陽能電池制造用和太陽能電池用多晶硅材料生產(chǎn)用的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求也將保持高速增長(zhǎng)。 國(guó)外廠商收獲忙 中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)良好的發(fā)展態(tài)勢(shì)，對(duì)全球半導(dǎo)體業(yè)有著重要的作用和貢獻(xiàn)，國(guó)外< " target=_blank>半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)廠商忙著在中國(guó)市場(chǎng)布局也就不足為奇了。有關(guān)市場(chǎng)調(diào)研公司的分析報(bào)告顯示，2004年中國(guó)市場(chǎng)半導(dǎo)體制造設(shè)備采購(gòu)額大增了146%。 近年來，中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)對(duì)高端設(shè)備和先進(jìn)技術(shù)的需求逐漸增長(zhǎng)，這一特點(diǎn)在2004年表現(xiàn)得尤為突出。作為東京精密(Accretech)本地化公司，東精精密設(shè)備(上海)有限公司副總經(jīng)理周雅萍認(rèn)為，國(guó)際上知名的半導(dǎo)體生產(chǎn)制作技術(shù)的提升，中國(guó)客戶對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求也發(fā)生了很大變化。周雅萍說：“在幾年前，客戶要求價(jià)格便宜工藝簡(jiǎn)單的設(shè)備，通常客戶感興趣的設(shè)備為東京精密生產(chǎn)的低端產(chǎn)品。隨著中國(guó)客戶半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝水平的提升，中國(guó)客戶對(duì)先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備需求不斷增加?！? 對(duì)于先進(jìn)技術(shù)，中國(guó)市場(chǎng)與歐美市場(chǎng)的需求是相同的。對(duì)此諾發(fā)(Novellus)公司亞太區(qū)運(yùn)營(yíng)高級(jí)副總裁Chen Fusen認(rèn)為，為了迎接IC制造方面的挑戰(zhàn)，設(shè)備制造商需要擴(kuò)展其現(xiàn)有設(shè)備的生產(chǎn)能力和設(shè)備的使用壽命，假如沒有出眾的技術(shù)，要在一兩個(gè)制造節(jié)點(diǎn)的平臺(tái)可延伸性方面領(lǐng)先通常是不可能的。他說：“在美國(guó)和歐洲那些成熟的市場(chǎng)的確是這樣，在中國(guó)這樣新出現(xiàn)的市場(chǎng)也不例外?！痹谌ツ昴瓿?，Novellus把第一臺(tái)SABRE 300mm銅電鍍?cè)O(shè)備裝運(yùn)到一家領(lǐng)先的中國(guó)代工廠。 對(duì)于今后的市場(chǎng)，各大廠商雖然各執(zhí)一詞，但無論如何，中國(guó)市場(chǎng)仍將是這些國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要戰(zhàn)略市場(chǎng)。 加快本地化進(jìn)程 2006年，全球工業(yè)將開始進(jìn)入65nm器件量產(chǎn)，而設(shè)備廠商也將進(jìn)入到45nm及以下設(shè)備的研發(fā)，由于研發(fā)投入加大，設(shè)備廠商風(fēng)險(xiǎn)增加，另一方面，芯片制造等設(shè)備采購(gòu)商，要求設(shè)備降價(jià)的壓力也越來越大。 近年來，設(shè)備的價(jià)格越來越高，雖然2005年后稍有些回落，但業(yè)界普遍反映仍不能承受。< target=_blank>半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域資深人士莫大康介紹，一套先進(jìn)的光刻機(jī)加上涂膠顯影軌道設(shè)備，至少要2000萬美元，如果要做關(guān)鍵的光刻層，采用濕法，大數(shù)值孔徑的193nm光刻機(jī)，那價(jià)格還要至少高出500萬美元至1000萬美元。分析原因，莫大康認(rèn)為，現(xiàn)在的設(shè)備不但硬件要先進(jìn)復(fù)雜，更主要的是購(gòu)買設(shè)備后能保證實(shí)現(xiàn)一定的工藝技術(shù)，為此設(shè)備廠商要開展先進(jìn)工藝技術(shù)的研發(fā)，花費(fèi)是十分巨大的。天下沒有免費(fèi)的午餐，龐大的研發(fā)費(fèi)用都會(huì)分?jǐn)傇诿颗_(tái)設(shè)備的售價(jià)之中，因此設(shè)備賣的越多，其分?jǐn)偟难邪l(fā)費(fèi)用越薄，只有當(dāng)研發(fā)費(fèi)用分?jǐn)們艉?，設(shè)備價(jià)格才可能降下來，所以設(shè)備的銷售數(shù)量是關(guān)鍵。然而進(jìn)入12英寸、65nm后能夠支付得起的客戶，購(gòu)買設(shè)備的數(shù)量十分有限，所以設(shè)備價(jià)格可能下降的空間并不大。 作為設(shè)備廠商，也面臨兩難的局面，如果不跟隨摩爾定律，則意味著馬上出局，但是真要緊跟上去，龐大的研發(fā)費(fèi)用又支付不起，并且很難得到應(yīng)有的回報(bào)。 面對(duì)現(xiàn)實(shí)的困難局面，作為設(shè)備廠商在近時(shí)期能做到的是努力設(shè)法降低設(shè)備的制造成本，子系統(tǒng)及零部件的本地化采購(gòu)將有助于降低設(shè)備生產(chǎn)成本。在中國(guó)發(fā)展設(shè)備配套部件產(chǎn)業(yè)，在完善中國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈的同時(shí)，也將有助于國(guó)際設(shè)備供應(yīng)商整體競(jìng)爭(zhēng)力的提高。 應(yīng)給予國(guó)產(chǎn)設(shè)備更多關(guān)注 經(jīng)過多年的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)已經(jīng)取得了很不錯(cuò)的成績(jī)：在半導(dǎo)體前道工序用擴(kuò)散爐、快速熱處理設(shè)備。清洗機(jī)、勻膠顯影設(shè)備等；后道工序中的劃片機(jī)、塑封機(jī)、部分模具等；材料制備設(shè)備中的單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)，部分凈化設(shè)備和試驗(yàn)設(shè)備，其中一些國(guó)產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)日漸成熟，并且已經(jīng)有設(shè)備被用到國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)線中。 盡管如此，國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入國(guó)內(nèi)大生產(chǎn)線仍然很難，因?yàn)榧呻娐樊a(chǎn)業(yè)發(fā)展太快，設(shè)備還沒用舊，產(chǎn)品就更新?lián)Q代了，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和集成電路專用裝備制造業(yè)；在稅收上應(yīng)給予和國(guó)外進(jìn)口設(shè)備同樣的條件。