被國(guó)際上稱之為戰(zhàn)略工業(yè)的半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用裝備制造業(yè)是支撐半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的基礎(chǔ)，是半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)，它融合了約50個(gè)學(xué)科的高新技術(shù)，是基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究共同發(fā)展的產(chǎn)物和科學(xué)技術(shù)水平的集中表現(xiàn)，也是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的高度物化。沒(méi)有強(qiáng)大的半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用裝備的支撐，我們將不具備爭(zhēng)奪未來(lái)龐大信息產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)的主動(dòng)權(quán)。 

　　亮點(diǎn)一：我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)量下降的同時(shí)銷(xiāo)售額卻大增 


　　隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的快速發(fā)展，我國(guó)從事半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)正在迅速增加，已從2002年的40個(gè)發(fā)展為2003年的接近60個(gè)（包括兼做單位），其中主要單位20家左右。大部分單位從事前工序和后工序設(shè)備研制，材料制備設(shè)備、凈化設(shè)備、半導(dǎo)體專(zhuān)用工模具、檢測(cè)設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備零部件也各有一些單位在研究和生產(chǎn)。一些國(guó)外企業(yè)已開(kāi)始在中國(guó)設(shè)廠，為行業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。 

　　據(jù)對(duì)其中16家主要單位的統(tǒng)計(jì)，在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)量同比下降28.8％的同時(shí)，2003年半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額達(dá)到25361萬(wàn)元（未包括凈化設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備、半導(dǎo)體專(zhuān)用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件），同比增長(zhǎng)51.3％，說(shuō)明我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)檔次有了較大幅度的提升。如將凈化設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備、半導(dǎo)體專(zhuān)用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件以及16家以外的半導(dǎo)體設(shè)備單位統(tǒng)計(jì)在內(nèi)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備2003年的銷(xiāo)售額應(yīng)在4億元以上。 

　　2003年電子專(zhuān)用設(shè)備行業(yè)銷(xiāo)售收入前8名的單位中有7家都不同程度地從事半導(dǎo)體或凈化設(shè)備工作，其中江蘇蘇凈集團(tuán)有限公司，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司仍然位居行業(yè)第一、二位。 

　　從銷(xiāo)售角度分析，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的服務(wù)方向雖仍以一些院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線以及半導(dǎo)體分立器件、LED、太陽(yáng)能電池、SAW、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域?yàn)橹?，但部分材料制備設(shè)備（6英寸單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)）、后道工序設(shè)備（6英寸劃片機(jī)、塑封機(jī)、自動(dòng)封裝系統(tǒng)、模具）以及6英寸前道工序中的擴(kuò)散設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等已逐步進(jìn)入集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。 

　　亮點(diǎn)二：國(guó)際合作全面開(kāi)花在國(guó)際合作方面，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司與法國(guó)合資成立的生產(chǎn)數(shù)字及模擬質(zhì)量流量計(jì)的七星弗洛爾公司已正式開(kāi)業(yè)；與美國(guó)AVIZA公司也已簽訂合作意向，共同開(kāi)發(fā)8英寸立式擴(kuò)散爐市場(chǎng)。 

　　2003年10月，銅陵三佳（集團(tuán)）有限責(zé)任公司和韓國(guó)豐山微電子株式會(huì)社共同出資組建的銅陵豐山三佳微電子有限公司正式開(kāi)業(yè)，一期注冊(cè)資金2000萬(wàn)美元，生產(chǎn)具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的“半導(dǎo)體集成電路引線框架”及“引線框架模具”，計(jì)劃2004年～2007年分兩期共投資7500萬(wàn)美元，將成為中國(guó)引線框架和引線框架模具最大的生產(chǎn)基地。 

　　青島旭光儀表設(shè)備有限公司與法國(guó)AET公司，經(jīng)過(guò)多次商談達(dá)成了合作意向，擬在青島旭光生產(chǎn)國(guó)際先進(jìn)水平的“電加熱元件”，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步合作生產(chǎn)相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備。 

　　亮點(diǎn)三：科研及重點(diǎn)項(xiàng)目進(jìn)展順利由中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所和四十八研究所、北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司、國(guó)投南光有限公司、西北機(jī)器廠、西安電子科技大學(xué)等單位研制，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所負(fù)責(zé)應(yīng)用研究的國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目———6英寸、0.5微米集成電路芯片生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備共計(jì)14種、18臺(tái)套全部順利通過(guò)了鑒定和驗(yàn)收，并已經(jīng)在生產(chǎn)線投入使用。這14種設(shè)備包括電子束曝光機(jī)、分步重復(fù)投影曝光機(jī)、M－RIE金屬刻蝕設(shè)備、RIE介質(zhì)刻蝕設(shè)備、IMD－CVD設(shè)備、LPCVD、大束流離子注入機(jī)、磁控濺射系統(tǒng)、氧化擴(kuò)散系統(tǒng)、ECR－CVD、硅片勻膠顯影處理系統(tǒng)、石英管清洗機(jī)、硅片腐蝕清洗系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)等。其中突破重大關(guān)鍵技術(shù)152項(xiàng)，取得專(zhuān)利49項(xiàng)，培養(yǎng)和鍛煉專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才189人。這是中國(guó)自行研制的第一條6英寸0.5微米的集成電路生產(chǎn)線，它的研制成功為縮小我國(guó)與國(guó)際先進(jìn)水平的差距做出了貢獻(xiàn)，為振興電子專(zhuān)用裝備制造業(yè)奠定了良好的基礎(chǔ)。 

　　國(guó)家高科技項(xiàng)目中的光刻機(jī)、離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、大直徑硅單晶爐項(xiàng)目等正在加緊進(jìn)行。電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金安排的8英寸快速熱處理設(shè)備、8英寸多工位硅片清洗腐蝕設(shè)備、8英寸硅片自動(dòng)劃片機(jī)、集成電路自動(dòng)封裝系統(tǒng)、VXI數(shù)?；旌霞呻娐窚y(cè)試系統(tǒng)等，以及一部分企業(yè)自行安排的材料制備設(shè)備和后工序設(shè)備的研制也已進(jìn)入尾聲。 

　　信息產(chǎn)業(yè)部2001年度電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金重點(diǎn)支持項(xiàng)目———8英寸立式擴(kuò)散爐在北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司研發(fā)成功并已進(jìn)入設(shè)備調(diào)試階段。該設(shè)備填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)集成電路專(zhuān)用立式爐的空白，兼容性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，配置先進(jìn)。 

　　在信息產(chǎn)業(yè)部2003年電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金招標(biāo)項(xiàng)目中，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所的四元化合物材料生長(zhǎng)用金屬有機(jī)化學(xué)汽相淀積（MOCVD）設(shè)備中標(biāo)。這是繼該所承擔(dān)的由國(guó)家“863”計(jì)劃以及電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金支持的GaNMOCVD之后的又一種用于InGaAlP、In－GaAlAs等四元化合物材料生長(zhǎng)的LED、LD生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備，將為我國(guó)LED及半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的發(fā)展創(chuàng)造有利的條件。 

　　亮點(diǎn)四：產(chǎn)業(yè)發(fā)展良好環(huán)境正逐步形成 

　　1994年以來(lái)，我國(guó)集成電路行業(yè)一直保持了高速發(fā)展的態(tài)勢(shì)，2003年我國(guó)集成電路總產(chǎn)量134.1億塊，同比增長(zhǎng)39.3％；預(yù)計(jì)2005年我國(guó)集成電路總產(chǎn)量將達(dá)到200億塊，銷(xiāo)售額600億～800億元；預(yù)計(jì)2010年我國(guó)將成為全球第二大集成電路市場(chǎng)，2020年中國(guó)有可能成為全球最大的集成電路制造基地之一。中國(guó)集成電路的快速發(fā)展，帶動(dòng)了我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的快速增長(zhǎng)。據(jù)國(guó)外市場(chǎng)調(diào)研公司統(tǒng)計(jì)，2003年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)達(dá)到17億美元，占全球市場(chǎng)銷(xiāo)售額的5.2％。此外，由于我國(guó)半導(dǎo)體分立器件行業(yè)的快速發(fā)展，也將帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的較大增長(zhǎng)。 

　　但是，與我國(guó)快速發(fā)展的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)相比，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展卻相對(duì)緩慢，新建的6英寸、8英寸集成電路制造廠幾乎都是從國(guó)外引進(jìn)設(shè)備，無(wú)論在技術(shù)上還是在資金上都制約著我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。我國(guó)半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)仍然是非常脆弱的。 

　　2003年以來(lái)，關(guān)于發(fā)展我國(guó)“半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用裝備制造業(yè)”的問(wèn)題已分別被列入《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃》和《“十一五”振興我國(guó)裝備制造業(yè)的途徑與對(duì)策》等項(xiàng)目中進(jìn)行研究，反映了國(guó)家對(duì)此領(lǐng)域的高度重視；北京、上海、廣東、沈陽(yáng)等地也分別將發(fā)展半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用設(shè)備列為地區(qū)的發(fā)展重點(diǎn)；風(fēng)華集團(tuán)申報(bào)的裝備制造業(yè)基地項(xiàng)目已被廣東省列為裝備制造業(yè)重點(diǎn)技術(shù)改造項(xiàng)目，得到了廣東省的大力支持；沈陽(yáng)芯源公司的半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目得到了沈陽(yáng)市政府的高度重視……發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備的良好環(huán)境正在逐步形成。 

　　另一方面，隨著電子基礎(chǔ)產(chǎn)品小型化、微型化的發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備已越來(lái)越多地?cái)U(kuò)展應(yīng)用到電力電子器件、MEMS、MOEMS、高頻頻率器件、TFT－LCD、LED（包括半導(dǎo)體照明）、PDP、VFD、太陽(yáng)能電池、敏感器件、CCD、光纖通信器件、光盤(pán)、電子無(wú)源元件等領(lǐng)域，具有極強(qiáng)的產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)性。因此，為實(shí)現(xiàn)我國(guó)由信息產(chǎn)業(yè)大國(guó)向信息產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國(guó)的轉(zhuǎn)變，應(yīng)大力振興作為半導(dǎo)體和集成電路制造業(yè)基礎(chǔ)的專(zhuān)用裝備制造業(yè)。